晶圆抛光系统

位于晶圆抛光头下方的Tactilus®传感器

 

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晶圆抛光

Tactilus®晶圆抛光系统旨在揭示抛光头和晶圆组件之间的平行度和压力均匀性问题。与传统的压力传感器和称重传感器不同，Tactilus®是纸薄的，设计用于直接放置在主动压制表面上？使你的表面压力分布前所未有的可视化。

 

Tactilus®技术

Tactilus®是一种基于矩阵的触觉表面传感器。本质上是一种“电子皮肤”，记录并解释任何两个接触面或配合面之间的压力分布和大小，并将收集的数据吸收到一个强大的基于Windows®的工具包中。每个Tactilus®传感器都按照严格的公差进行了精心组装，并单独校准和序列化。Tactilus®的架构原理是模块化的，允许携带、轻松扩展和同时收集多达4个离散传感器垫的数据。触觉®采用复杂的数学算法，智能地将信号与噪声分开，并采用先进的电子屏蔽技术来最大化传感器。抗噪声、耐温、耐湿。

 

“我们的首要建议是为客户提供他们所需要的。我们针对物理传感器元件以及我们的图形用户界面和dll设计的所有内容都可以完全根据您的特殊情况进行定制