F1013微流量传感器

F1012微流量传感器
F1031微流量传感器
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F1022微流量传感器
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F6000系列风速传感器
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F6100系列风速传感器
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产品详情
F1012微流量传感器是利用热力学原理对流道中的气体介质进行流量检测，具有很好的精度与重复性。内置有温度传感器，每只都进行专有的温度补偿校准；同时具有线性模拟电压输出，方便使用。

传感器特点

新一代MEMS传感器芯片技术；

精度高，响应速度快，重复性好；

可精确测量极小流量；

经过完全校准和温度补偿；

主要应用

工业过程控制

空气和环境保护

便携式仪器

技术指标

产品型号 F1012
量程① 20、30、50、100、200、500、1000、1200、2000sccm②
  最小 典型值 最大 单位
满量程输出 4.90 5.00 5.10 V
零流量输出 0.96 1.00 1.04 V
输出阻抗 - 200 - Ω
工作电压 7.0 10.0 14.0 V
工作电流 15 25 30 MA
精度 - ±1.5 ±2.5 %F.S
重复性 - ±0.3 ±0.5 %F.S
年漂移③ - ±0.1 ±0.5 %F.S
耐压④ - - 200 kPa
反应时间 45 50 55 ms
工作温度⑤ -25 - 65 ℃
储存温度 -40 - 90 ℃
注：

①可提供20-2000sccm之间任意量程，20、30、50、100、200、500、1000、1200、2000sccm为常规量程，其他量程收定制费。

②sccm：standard-state cubic centimeter per minute，意义为标况毫升每分钟，标况规定为：气体温度0℃ ；气压101.325 kPa；

③测试条件为室温、清洁空气。

④可提供耐压为0.8MPa产品。

⑤温度补偿实校范围为0℃-50℃，超过此范围温度补偿效果不能保证。